| 是否进口：否 | 产地：上海 | 加工定制：否 |
| 品牌：哈希 | 型号：哈希 Z09210=A=0302 | 订货号：具体 |
| 货号：具体 | 工作电压：240-360V | 输出频率：50kHz |
| 产品认证：标准 | 是否跨境货源：否 | 抗干扰能力强：输出阻抗低 |
哈希 Z09210=A=0302提拉的办法
哈希 Z09210=A=0302提拉的办法
哈希 Z09210=A=0302提拉的办法
单晶炉提拉速度控制系统的设计与分析1 引 言半导体材料是半导体工业的基础材料 ,其中用量和用途的是半导体硅。当今 95%以上的半导体器件是用硅材料制造的 ,***以上的集成电路是硅集成电路 ,生产集成电路所需要的单晶硅 ,是在硅结晶生长开始时 ,用提拉的办法制成的。在单晶硅生产过程中 ,对晶体的提拉速度有十分严格的要求 ,从某种程度上讲提拉速度的控制好坏将直接影响到晶体的质量。对单晶硅生产过程中的提拉速度控制系统进行研究有实际意义。图 1示出了单晶炉提拉速度控制系统在单晶硅生产中的作用。提拉杆的运动是靠驱动电机通过减速器 ,再由齿轮齿条机构带动的。在单晶炉中 ,要求提拉单晶硅的提拉杆不仅能以某一期望线速度 V向上 (下 )运动 ,而且当提拉负载增大引起线速度为零时 ,提拉杆能保持其后位置而不上下滑动。在实际单晶炉中 ,对提拉控制系统提出的主要技术指标是 ,提拉速度在 0 .2～ 1 0 .0 mm/h范围之内实现无级可调 ,线性精度大于± 2 %
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| 3BHB007447P0001 | |||
| 3BHB006449R0002 励磁电源 | |||
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| 整流柜接口3BHB0005922R0001 | |||
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| 3BHB006449R0002 励磁电源模块 | |||
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| 3BHB006309R0001 PSI功率信号板 | |||
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| 3BHE002966R002 熔丝座 | |||
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